国产成人免费AV片在线观看,久久久国产打桩机,被三个男人绑着躁我好爽,国产精品一国产精品

當(dāng)前位置:首頁  >  技術(shù)文章  >  光刻機(jī)是干什么用的,工作原理是什么?

光刻機(jī)是干什么用的,工作原理是什么?

更新時間:2023-01-11  |  點(diǎn)擊率:12300
  一、用途
  光刻機(jī)是芯片制造的核心設(shè)備之一,按照用途可以分為好幾種:有用于生產(chǎn)芯片的光刻機(jī);有用于封裝的光刻機(jī);還有用于LED制造領(lǐng)域的投影光刻機(jī)。
  二、工作原理
  在加工芯片的過程中,光刻機(jī)通過一系列的光源能量、形狀控制手段,將光束透射過畫著線路圖的掩模,經(jīng)物鏡補(bǔ)償各種光學(xué)誤差,將線路圖成比例縮小后映射到硅片上,然后使用化學(xué)方法顯影,得到刻在硅片上的電路圖。
  一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、激光刻蝕等工序。經(jīng)過一次光刻的芯片可以繼續(xù)涂膠、曝光。越復(fù)雜的芯片,線路圖的層數(shù)越多,也需要更精密的曝光控制過程。
  光刻機(jī)的結(jié)構(gòu):
  1、測量臺、曝光臺:是承載硅片的工作臺。
  2、激光器:也就是光源,光刻機(jī)核心設(shè)備之一。
  3、光束矯正器:矯正光束入射方向,讓激光束盡量平行。
  4、能量控制器:控制最終照射到硅片上的能量,曝光不足或過足都會嚴(yán)重影響成像質(zhì)量。
  5、光束形狀設(shè)置:設(shè)置光束為圓型、環(huán)型等不同形狀,不同的光束狀態(tài)有不同的光學(xué)特性。
  6、遮光器:在不需要曝光的時候,阻止光束照射到硅片。
  7、能量探測器:檢測光束最終入射能量是否符合曝光要求,并反饋給能量控制器進(jìn)行調(diào)整。
  8、掩模版:一塊在內(nèi)部刻著線路設(shè)計圖的玻璃板,貴的要數(shù)十萬美元。
  9、掩膜臺:承載掩模版運(yùn)動的設(shè)備,運(yùn)動控制精度是nm級的。
  10、物鏡:物鏡用來補(bǔ)償光學(xué)誤差,并將線路圖等比例縮小。
  11、硅片:用硅晶制成的圓片。硅片有多種尺寸,尺寸越大,產(chǎn)率越高。題外話,由于硅片是圓的,所以需要在硅片上剪一個缺口來確認(rèn)硅片的坐標(biāo)系,根據(jù)缺口的形狀不同分為兩種,分別叫flat、notch。
  12、內(nèi)部封閉框架、減振器:將工作臺與外部環(huán)境隔離,保持水平,減少外界振動干擾,并維持穩(wěn)定的溫度、壓力。
国产亚洲欧美在线精品电影| 免费无码一区二区三区a片百度| 韩国av| 中文字幕久精品免费视频| 黑人巨大精品欧美黑寡妇| 亚洲中文字幕乱码熟女在线| 国产嫖妓一区二区三区av视频| 人妻熟妇乱又伦精品视频中文字幕| 亚洲色欲久久久综合网东京热| 日文中字乱码一二三区别视频| free性欧美极度另类| 同性两个17男互摸互吃的小说| 久久免费看少妇高潮a片特无毒| 美女黄网站永久免费观看网站| 打开这个网站你会感谢我的| 高洁在公车被灌满jing液| 日本动漫瀑乳h动漫啪啪免费| 久久久久精品国产亚洲av麻豆| 无码里番纯肉h在线网站| 永久免费观看不收费的软件app| 精品一二三区久久aaa片| 国产精品黄在线观看免费软件| 亚洲欧洲精品成人久久曰影片| 极致凌虐被迫高潮sm在线观看| 又黄又肉的叫床文| 4p调教三根一起男男| 国产av无码成人黄网站免费| 无码专区aaaaaa免费视频| 潘金莲被武松高潮八次小说| chinese体育生打飞j视频| 精品深夜av无码一区二区| 人妻系列无码专区免费视频| 亚洲av日韩av高潮潮喷无码| 国产精品V片在线观看不卡| 久久天堂综合亚洲伊人HD妓女| 嗯啊灬别停啊灬用力灬快| 久久精品国产99国产精品导航| 中文字幕人成无码人妻| 亚洲av无码一区二区三区四区| 亚洲色WWW永久网站| 老人玩小处雌女hd另类|