一、 優(yōu)勢(shì)簡(jiǎn)介：

??MicroSense的高精度電容式位移傳在感器，除具有一般非接觸式儀器的共性外，還具有信噪比高、靈敏度高、零漂小、頻響寬、非線性小、精度穩(wěn)定性好、抗電磁干擾能力強(qiáng)、使用方便等優(yōu)點(diǎn)，在國(guó)內(nèi)研究所、高等院校、企業(yè)得到廣泛應(yīng)用，成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種非常重要的測(cè)試儀器。

??二、 特點(diǎn)：

??1、可實(shí)現(xiàn)近距離、高精度、非接觸式位置測(cè)量

??2、分辨率可達(dá)亞納米級(jí)直至皮納米級(jí)，在所有商用電容傳感器品牌中，噪音ZUI低

??3、提供多種型號(hào)的探頭，以滿足高穩(wěn)定性、線性或高測(cè)量帶寬等不同需求

??4、可選擇單一通道或多通道（3U歐洲卡機(jī)架安裝標(biāo)準(zhǔn)）

??三、 型號(hào)簡(jiǎn)介：

??1、被動(dòng)式電容位移傳感器，代表型號(hào)：48XX 系列，88XX系列，Mini系列

??被動(dòng)式電容傳感器基于追求最佳的線性和穩(wěn)定性而設(shè)計(jì)，測(cè)量帶寬達(dá)20千赫，專用于伺服系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)行程反饋，尤其是高精密機(jī)床的系統(tǒng)伺服運(yùn)動(dòng)行程反饋。

??2、主動(dòng)式電容位移傳感器，代表型號(hào)：58XX系列，68XX系列

??主動(dòng)式電容傳感器突破了納米分辨率壁壘，實(shí)現(xiàn)了亞納米分辨率與快速響應(yīng)，測(cè)量帶寬高達(dá)100千赫。

??6810型號(hào)擅長(zhǎng)高動(dòng)態(tài)測(cè)量，即測(cè)量對(duì)象為高速旋轉(zhuǎn)或振蕩的物體，如精密硬盤驅(qū)動(dòng)主軸電機(jī)、精密空氣軸承主軸、機(jī)械軸承機(jī)床主軸等。

?  主要應(yīng)用的場(chǎng)合是，分辨率要求在1-2nm或更小的跳動(dòng)測(cè)量，如軸向和徑向不重復(fù)的跳動(dòng)，或者異步誤差運(yùn)動(dòng)(NRRO-non-repeatable run out or asychronous error motion)。

??四、 性能：

??1、測(cè)量距離在± 5 um到± 1 mm內(nèi)

??2、高測(cè)量帶寬（高頻率響應(yīng)）可選范圍：1 kHz, 5 kHz, 20 kHz，100 kHz

??3、適用于任何接地、導(dǎo)電的目標(biāo)，材料或表面光潔度對(duì)精度無影響

??4、分辨率可實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)，由傳感器探頭尺寸、帶寬、測(cè)量距離共同決定

??5、線性度優(yōu)于滿量程測(cè)量的0.025%，由傳感器探頭尺寸、帶寬、測(cè)量距離共同決定