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納米位移電容傳感器的工作原理及典型應(yīng)用

更新時間:2023-07-04  |  點擊率:1867
  什么是納米位移電容傳感器
  納米位移電容傳感器由傳感器探頭、放大器和電源組成。具有結(jié)構(gòu)簡單、非接觸、頻響寬等特點,被認為是*性的微位移傳感技術(shù),廣泛用于納米位移與定位控制系統(tǒng)。
  納米位移電容傳感器的工作原理
  納米位移電容傳感器是基于理想平板電容原理設(shè)計研發(fā)的,被測物體與傳感器各自作為一個平板電極。給傳感器一個持續(xù)穩(wěn)定的交流電,交流電壓的振幅變化與電容到被測物體之間的距離成正比。交流電經(jīng)過解調(diào),可以測出位移量。電容式位移傳感器具有信噪比大、靈敏度高、頻響寬、非線性小、精度穩(wěn)定性好、無損耗等特點。
  納米位移電容傳感器的特點
  1.非線性度小
  非接觸式設(shè)計,測量點和被測量點之間不接觸,避免了測量時的干擾,提高了測量的精度。將對被測目標的影響降到低,解決平板電容模型邊緣效應(yīng),解決常規(guī)采集電容片電場帶來的非線性問題。
  2.分辨率高
  通過設(shè)計電纜屏蔽和的運放驅(qū)動法進行了優(yōu)化和處理,運用運算放大器來驅(qū)動的方法,用電纜屏蔽和算法,進行優(yōu)化設(shè)計,從而解決了電容值采集值放大,提高了測量的精度,并降低了干擾。解決電容傳感器采集電容容值較低,易受寄生電容和自身電容誤差帶來干擾問題,且在噪聲抑制處理,提高控制系統(tǒng)分辨率。
  納米位移電容傳感器的典型應(yīng)用
  01.納米位移傳感器用于光刻機曝光鏡頭微調(diào)整系統(tǒng)
  納米位移傳感器可用于光刻機的核心部件—曝光鏡頭的位置調(diào)整。
  02.納米位移傳感器用于機床主軸位置調(diào)整
  機床主軸的轉(zhuǎn)速可高達6000r/min。即使主軸上有微米級別的圓度差異,也會在被加工的材料上留下輕微劃傷,從而影響產(chǎn)品質(zhì)量。為了提高質(zhì)量,有必要對主軸進行圓度測量,三英精控的電容式位移傳感器可以滿足圓度測量的要求。
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